特集 とびら〜DRAM フラッシュ FeRAM MRAM メモリーLSIは材料で勝負
日経マイクロデバイス 第190号 2001.4.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第190号(2001.4.1) |
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ページ数 | 1ページ (全606字) |
形式 | PDFファイル形式 (144kb) |
雑誌掲載位置 | 61ページ目 |
本格的な量産が始まる強誘電体メモリー(FeRAM)。量産スケジュールを明らかにするところが出てきたMRAM(magnetic RAM)。スケーリングの壁に直面するDRAMやフラッシュ・メモリー。これらのメモリーは一見,別モノに見えるが,死命を制するのはいずれも材料技術になる。FeRAMやMRAMは,微細化・高集積化に対するスケーラビリティが現段階では見えていない。材料技術を駆使し,この問題を解決す…
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