技術レター［ＬＳＩ製造＆ＬＳＩ設計］〜ナノテクノロジ　「異分野技術の　融合がキーワード」
日経マイクロデバイス　第190号　2001.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第190号（2001.4.1）
ページ数	1ページ　（全459字）
形式	PDFファイル形式　（24kb）
雑誌掲載位置	29ページ目

ナノテクノロジ技術開発バイオ　テクノロジ　「ナノテクノロジを推進していく上で最も重要なキーワードは『異分野技術の融合』である」。このような考えを，アトムテクノロジー研究体（ＪＲＣＡＴ）の田中一宜氏が応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第２７回研究集会「シリコンナノテクノロジー　−−　スケーリング則を超えて」で示した。日本のナノテクノロジ研究について，「個々の技術は世界トップ・クラスだが，互いに独…