論文［ＬＳＩ製造］〜お題目のシステムＬＳＩを　生産技術革命で実ビジネスへ
日経マイクロデバイス　第189号　2001.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第189号（2001.3.1）
ページ数	8ページ　（全8097字）
形式	PDFファイル形式　（121kb）
雑誌掲載位置	133〜140ページ目

工場システムＬＳＩ製造装置ＬＳＩを製造する立場から「システムＬＳＩ」とは一体何なのか。この疑問に「ミニ・ファブ」という一つの答を１９９９年末に見いだした東芝は着々と手を打ち，装置技術やプロセス技術などハードウェア側の手段をそろえてきた。ステンシル・イオン打ち込み，含浸メッキ，スキャン塗布，新型ＦＴＰ，環境ボックスなどである。ただし，これらは「まだ断片だ」と開発してきた著者らは言う。生産技術体系を変…