技術レター［ＬＳＩ設計＆ＬＳＩ製造］〜Ｆ２露光向けレジスト材料を　国内２社がそれぞれ開発　ＳＰＩＥでＳｅｌｅｔｅが詳細報告
日経マイクロデバイス　第189号　2001.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第189号（2001.3.1）
ページ数	1ページ　（全261字）
形式	PDFファイル形式　（26kb）
雑誌掲載位置	31ページ目

露光レジスト学会　ダイキン工業，旭硝子の２社は，それぞれ独立にＦ２エキシマ・レーザー露光向けのレジストに使うＦ樹脂を半導体先端テクノロジーズ（Ｓｅｌｅｔｅ）と共同開発した。これまで，波長が１５７ｎｍと短いＦ２レーザー光に対し透明性を確保できる樹脂はほとんどなかった。今回の成果は２００１年２月末に米国で開催される「ＳＰＩＥ’ｓ　２６ｔｈ　ａｎｎｕａｌ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　…