μレポート[LSI製造]〜台湾TSMCの生産戦略 処理能力の急拡大を 300mm量産ラインで実現
日経マイクロデバイス 第188号 2001.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第188号(2001.2.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2132字) |
形式 | PDFファイル形式 (39kb) |
雑誌掲載位置 | 155〜156ページ目 |
工場Siファウンドリ大口径化2000年12月に300mmウエーハ試作ラインからの製品出荷を開始した台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.(TSMC)が,最新の工場戦略と技術を明らかにした。300mmウエーハ試作ラインで確立した技術を量産ラインに展開し,今後の急速な処理能力拡大を300mm量産ラインで実現する。今回TSMCが寄せた論文の詳細はホー…
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