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日経マイクロデバイス　第187号　2001.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第187号（2001.1.1）
ページ数	4ページ　（全4539字）
形式	PDFファイル形式　（96kb）
雑誌掲載位置	147〜150ページ目

ＬＳＩ製造■ＫｒＦスキャン露光装置「ＡＴ：７００」　実質的な生産性を向上したＫｒＦエキシマ・レーザー・スキャン露光装置（図１）。従来の露光装置のスループットはメーカー推奨条件で示されていたため，ＬＳＩメーカーの実使用条件ではスペック通りの性能が出ないことが多かった。実際の露光ではウエーハの搬入・搬出や位置合わせ，ウエーハ・マッピングなどの前処理に時間がかかっていたからである。この問題を解決するため…