FOCUS 安全〜5人死亡の三菱マテリアルの爆発事故 経験頼みの洗浄作業の規定に甘さか
日経ものづくり 第713号 2014.2.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第713号(2014.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1052字) |
形式 | PDFファイル形式 (216kb) |
雑誌掲載位置 | 19ページ目 |
安全 2014年1月9日14時過ぎ、5人が死亡、12人が重軽傷を負う痛ましい爆発・火災事故が発生した(図1)。事故があったのは、三菱マテリアル四日市工場(三重県四日市市)の第1プラント。多結晶シリコンの製造設備にある熱交換器の解体・洗浄作業中の出来事だった。 同工場では、半導体シリコンウエハーの原料として多結晶シリコンを製造している。多結晶シリコンは、金属ケイ素(Si)の粉体と塩化水素を反応させて…
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