特集 脱・レアメタル依存症〜Part2:さらば安直使用 研磨剤 Ce
日経ものづくり 第676号 2011.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第676号(2011.1.1) |
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ページ数 | 3ページ (全3954字) |
形式 | PDFファイル形式 (998kb) |
雑誌掲載位置 | 49〜51ページ目 |
酸化セリウム(CeO2)が主成分の研磨剤は、レアメタル依存症の典型だ。それ故、「削減」「代替」の可能性を示す格好のケースにもなっている。 CeO2研磨剤は、高度な平滑面が求められる液晶ディスプレイやHDD向けガラス基板などの研磨に使われる。以前は酸化鉄(Fe2O3)が使われていたが、研磨能率と、研磨後の平滑性が優れるために、費用対効果はFe2O3よりもむしろ優れている。しかもレアアースでありながら…
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