新製品 精密空調機/精密チラー〜ヒートポンプの応用で70%以上の省エネを実現
日経ものづくり 第645号 2008.6.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第645号(2008.6.1) |
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ページ数 | 1ページ (全637字) |
形式 | PDFファイル形式 (853kb) |
雑誌掲載位置 | 180ページ目 |
生産加工精密空調機/精密チラー「PAP」シリーズと「PEC」シリーズは,従来の方式に比べて消費電力を70%以上減らせる温調制御技術「ヒートポンプバランス制御」を採用した精密空調機と冷水用の精密チラー。精密金型や球面などの微細加工で装置やワーク,室内の温度を調整する,あるいは半導体のレジスト塗布工程で膜厚精度を確保するために周囲の温度やレジスト液の温度を調整する,といった用途に向く。ヒートポンプバラ…
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