新製品 デジタル定量ポンプ〜デジタル制御で吐出量精度に優れる生産現場のコスト削減に有効
日経ものづくり 第634号 2007.7.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第634号(2007.7.1) |
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ページ数 | 1ページ (全645字) |
形式 | PDFファイル形式 (780kb) |
雑誌掲載位置 | 161ページ目 |
「DME4」シリーズは,ポンピングの速度をデジタル制御できる定量ポンプ。一定のペースで液体を加えるのに有効。半導体ウエハの洗浄や液晶パネル製造用水の混合など幅広い用途に使える。価格は65万円から。DME4シリーズには「DME375−10」(最大吐出量が376L/h)と「DME940−4」(同940L/h)の2機種がある。従来のデジタル定量ポンプのラインアップでは,最大吐出量のレンジが2.5〜150…
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