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日経ものづくり 第620号 2006.5.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第620号(2006.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1310字) |
形式 | PDFファイル形式 (353kb) |
雑誌掲載位置 | 152ページ目 |
14月6日インクジェットでSi TFTを形成,セイコーエプソンとJSRが液体材料によるSi薄膜の形成に成功http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20060405/115798/ セイコーエプソンとJSRは,液体材料を使ったSi薄膜の形成に成功した。このSi薄膜を利用した低温多結晶Si TFTは,電子移動度が108cm2/Vsと高く,従来のCVD(Che…
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