新製品 故障解析支援ソフト〜半導体デバイスの故障配線を 設計情報と比較し短時間に絞り込み
日経ものづくり 第618号 2006.3.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第618号(2006.3.1) |
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ページ数 | 1ページ (全368字) |
形式 | PDFファイル形式 (809kb) |
雑誌掲載位置 | 161ページ目 |
「FA−Navigation」は,半導体デバイスの故障解析を支援するシステム。「エミッション顕微鏡PHEMOSシリーズ」「IR−OBIRCH解析装置μAMOSシリーズ」「発熱画像解析装置THEMOSシリーズ」(いずれも浜松ホトニクス)などの故障解析装置から得た検出信号と,設計情報であるCADデータを組み合わせることで,故障している配線を高精度かつ短時間に絞り込める。 故障解析装置からの検出信号は,…
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