詳報 静電チャックの吸着力を〜静電チャックの吸着力を20倍向上 TOTO,加熱しない新成膜技術を応用
日経ものづくり 第616号 2006.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第616号(2006.1.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2526字) |
形式 | PDFファイル形式 (338kb) |
雑誌掲載位置 | 21〜22ページ目 |
TOTOは,吸着力を従来比で20倍高めた静電チャックを開発,2005年12月に開催された「セミコン・ジャパン2005」に参考出品した(図1)。静電チャックは文字通り,静電気の力を利用して半導体ウエハーやFPD(フラット・パネル・ディスプレイ)用ガラスなどを吸着し,搬送や固定に使う部品。その吸着力が高まったことにより,適用対象が拡大したり生産効率が向上したりすると期待される。 図2は,吸着しにくい…
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