新製品 工業用顕微鏡〜対物レンズの透過波長域を拡大 紫外域での蛍光観察を可能に
日経ものづくり 第610号 2005.7.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第610号(2005.7.1) |
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ページ数 | 1ページ (全413字) |
形式 | PDFファイル形式 (750kb) |
雑誌掲載位置 | 152ページ目 |
「ECLIPSE LV150A」は,半導体や電子部品,フラットパネル・ディスプレイ(FPD),精密金型などの検査に向く工業用顕微鏡。標準対物レンズ群の透過波長域を紫外域に拡大することで,可視域だけでなく紫外域での蛍光観察を可能とした。従来モデルと同じく,落射明視野・暗視野・簡易偏光・微分干渉の観察機能も備える。 さらに,液晶パネルやPDPに使うガラス基板の薄型化やデバイスの高密度化に対応するため,…
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