新製品 非接触3次元表面形状測定装置〜アプリケーション・ソフトの追加で 透過フィルム材料に対応
日経ものづくり 第610号 2005.7.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第610号(2005.7.1) |
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ページ数 | 1ページ (全682字) |
形式 | PDFファイル形式 (845kb) |
雑誌掲載位置 | 139ページ目 |
「Zygo New View 6300」は,幅広い材料に適した非接触3次元表面形状測定装置。「フィルムアプリケーションソフトウエア」と呼ぶ専用ソフトを搭載することで,これまで評価できなかった透過フィルム材料にも対応できるようにした。これにより,MEMS(微小電気機械)や光磁気ディスクなどの基盤技術の研究開発,液晶をはじめとするディスプレイ関連デバイスの材料の研究開発などに使用できる。 同ソフトはオ…
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