新製品 スーパーエンプラ〜金属含有量を大幅に低減 半導体製造装置の構造体に
日経ものづくり 第604号 2005.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第604号(2005.1.1) |
---|---|
ページ数 | 1ページ (全298字) |
形式 | PDFファイル形式 (472kb) |
雑誌掲載位置 | 154ページ目 |
「VICTREX UHP PEEK」は,英Victrex社が製造・販売を手掛ける「PEEK(ポリエーテル・エーテル・ケトン)」樹脂の金属含有量を大幅に減らした新グレード。従来のPEEKに含まれているナトリウムなどの金属元素の約8割を取り除いた。PEEKが持つドライエッチングへの耐性や気密性,低摩耗性などの特徴を損なうことなく,各金属元素の含有量を1ppm未満に抑えたという。金属汚染の管理が厳しい…
記事の購入(ダウンロード)
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円(税込)
他のIDで購入する
G-Search ミッケ!は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ(全298字)」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
(注)特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。