新製品 XYステージ〜エアベアリングやリニアモータを採用し駆動系のガタ低減 繰り返し位置決め精度を±10nmに向上
日経ものづくり 第604号 2005.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第604号(2005.1.1) |
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ページ数 | 1ページ (全539字) |
形式 | PDFファイル形式 (472kb) |
雑誌掲載位置 | 148ページ目 |
「超精密XYエアステージ」は,高い位置決め精度を実現するXYステージ。半導体製造装置など精密加工の分野で,検査や研磨,組み立て工程におけるワークの位置決めや移動に使う。nmオーダーのリニアスケール(位置検出器)や非接触のエアベアリング,コアレス構造のリニアモータを採用することで位置再現性を向上させ,繰り返し位置決め精度を±10nmに高めた。 リニアスケールはステージ側に設置し,ステージの位置を直…
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