詳報 TOTOが過熱せずにイットリア膜作製〜TOTOが加熱せずにイットリア膜作製 耐プラズマ性能は石英の50倍を実現
日経ものづくり 第604号 2005.1.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第604号(2005.1.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1402字) |
形式 | PDFファイル形式 (132kb) |
雑誌掲載位置 | 19ページ目 |
TOTOが,エッチング装置の窓材などに適用できるイットリア(Y2O3)膜を作製した(図1)。耐プラズマ試験*を実施し浸食深さを測定したところ,ざっと石英の1/50,サファイアの1/5とごくわずか。それ故,試験後も図1の写真右のように優れた透光性を維持した。 この試験は,半導体製造におけるエッチングやCVD(化学蒸着法)といった装置に使う構成部材への適用を想定したもの。中でも特に厳しい環境にさらさ…
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