新製品〜4本のアクチュエータで 駆動する
日経ものづくり 第597号 2004.6.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第597号(2004.6.1) |
---|---|
ページ数 | 1ページ (全516字) |
形式 | PDFファイル形式 (291kb) |
雑誌掲載位置 | 177ページ目 |
「NAF3」シリーズは,4本のアクチュエータで駆動するXYθステージ。大型液晶パネルなどの生産工程で使う。 XYθステージはXYステージの上にθ軸の回転機構を載せることが多い。どうしても全高が7〜8cmにはなり,その分剛性は下がる。また,横から入る力はθ軸,X軸,Y軸の機構をすべて経由してベースに伝わるから,この点からも剛性を上げるのは難しい。 新ステージは中央部にボールを並べて平面上を自由に水…
記事の購入(ダウンロード)
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円(税込)
他のIDで購入する
G-Search ミッケ!は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ(全516字)」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
(注)特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。