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日経ものづくり 第597号 2004.6.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第597号(2004.6.1) |
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ページ数 | 9ページ (全10287字) |
形式 | PDFファイル形式 (237kb) |
雑誌掲載位置 | 148〜156ページ目 |
日立,新型直線駆動装置「トンネルアクチュエータ」で世界最高加速度40Gを達成 日立製作所の日立研究所は,高精度位置決め直線駆動装置(トンネルアクチュエータ)で,直線駆動装置としては世界最高の加速度40G(重力加速度の40倍)を達成した。トンネルアクチュエータは,従来のリニアモータと比べて小型で,コストも低い。今後,半導体製造装置,小型精密加工機械などの生産性向上に役立てる。1〜2年後の実装置への適…
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