特集 機械技術・日本の世界一〜[10nm] ■[種目]位置決め装置の停止位置精度 ■[勝者]住友重機械工業
日経ものづくり 第559号 2001.4.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第559号(2001.4.1) |
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ページ数 | 1ページ (全924字) |
形式 | PDFファイル形式 (404kb) |
雑誌掲載位置 | 37ページ目 |
停止位置精度10nm。ステッパに内蔵したテーブルでは達成したものもあるはずだが,外部に発表する保証値ではない。ステッパでは出てきた製品が仕様を満足していればそれで良い。外販する機械の仕様でトップはこの「MODEL SLHUS−370」(図1)になる。半導体や液晶の製造・検査装置のメーカーがこれを購入して組み込む。 エアベアリングで浮上させ,駆動はリニアモータというぜいたくな構成。ワークテーブルは3…
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