MAP Focus〜白色光干渉法で3次元微細形状を非接触・高速測定
日経ものづくり 第554号 2000.11.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第554号(2000.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1119字) |
形式 | PDFファイル形式 (100kb) |
雑誌掲載位置 | 68ページ目 |
「SP−500」は,非接触式の表面形状測定装置(図1)。半導体ウエハや磁気ヘッド,光学部品,マイクロマシンなどの部品および素材が持つ微細な表面形状・性状を,高速・高分解能で測定できる。 この測定装置は,垂直走査型の干渉顕微鏡が基本技術になっている。ハロゲンランプから出た白色光を被測定物の表面に照射して反射した光と,参照光(基準面からの反射光)とがつくる干渉縞波形を高速データ処理することで,高速か…
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