メカニズム解剖〜フォトレジスト用定量ポンプ
日経ものづくり 第542号 1999.11.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第542号(1999.11.1) |
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ページ数 | 4ページ (全3440字) |
形式 | PDFファイル形式 (129kb) |
雑誌掲載位置 | 54〜57ページ目 |
藤中 茂「イワキ技術本部開発部主任 江上智紀「イワキ技術本部企画課主任右のイラストをご覧いただきたい。右側を上下に通る赤い*液体。実は半導体製造に使うフォトレジストだ。これを周囲から青い液体で薄肉円筒を介して圧縮させ,レジストを下から上へ送り込む。締めつける液体を送るのは中央のベローズ。下にある送りねじを左下のモータで回してベローズを伸縮させる。−なぜこんなややこしいことを−。いや,こ…
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