トピックス・テクノロジ 〜松下技研など,シリコン超微粒子を精密に分級
日経ものづくり 第539号 1999.8.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第539号(1999.8.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1305字) |
形式 | PDFファイル形式 (145kb) |
雑誌掲載位置 | 59ページ目 |
松下技研(本社川崎市)と通産省工業技術院・機械技術研究所は,nmオーダーのシリコン超微粒子の粒径を精密にそろえる分級技術を確立した。現在,平均粒径3.8nmの場合,幾何標準偏差が1.19(平均粒径の±12%の範囲に半数の粒子が入っている)と粒径を狭い範囲にそろえるのに成功した。 分級法は,表面に一定の静電気を帯びた超微粒子が,一定の流量(一定速さ)のガス(シースガス)の流れに対する流体抵抗とかけ…
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