Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜顕微鏡 数ｎｍの分解能で表面観察 調整不要で誰でも素早く
日経エレクトロニクス 第883号 2004.9.27
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第883号（2004.9.27） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1417字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （314kb） |
| 雑誌掲載位置 | 51ページ目 |
２００４年９月１日〜３日に千葉県・幕張メッセで測定／分析装置の展示会「２００４分析展」が開かれた。会場では，数ｎｍの分解能で試料の表面を手軽に観察できる顕微鏡が注目を集めていた。 こうした顕微鏡が人気なのには理由がある。最近になって，研究開発現場だけでなく，工場などで品質管理のためにｎｍクラスの分解能を備えた顕微鏡を使う例が急速に増えているのだ。例えば半導体チップ上の異物や，ハンダ・ボールと金属…
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