技術クリップ／フォーカス 微細振動やノイズを徹底制御〜微細振動やノイズを徹底制御
日経アーキテクチュア 第729号 2002.10.14
| 掲載誌 | 日経アーキテクチュア 第729号（2002.10.14） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全1713字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （57kb） |
| 雑誌掲載位置 | 112〜113ページ目 |
面積８割減，製造費９割減の次世代半導体工場 今春から稼働している東北大学未来科学技術共同研究センターの未来情報産業研究館に，大手半導体メーカー各社の注目が集まっている。半導体の研究開発で世界的に知られる大見忠弘未来科学技術共同研究センター客員教授が，「半導体王国日本の復活」を掲げて計画した最新型の研究施設だ。 研究の目的は，製造コストを１０分の１，性能を１０倍にする超高性能システムＬＳＩ（大規模集…
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